應(yīng)用領(lǐng)域：

適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（ 如 Al、Au、Ag、Cu 等），也可蒸鍍各種氧化物材料?？蓪?shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿 足發(fā)光器件 如 OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）。及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。 可鍍制低熔點(diǎn)金屬及合金材料薄膜，單層 / 多層 / 復(fù)合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；鍍制非金屬 / 化合物等 材料薄膜（ Mo03, LiF） 等；有機(jī)材料等蒸發(fā)；太陽能電池、LED 的研究和實(shí)驗(yàn)；描電鏡制樣等

基本配置：

◆真空腔室：350×400mm 不銹鋼 D 形腔體。前門鉸鏈方便真空室清理；腔室底板，頂部和側(cè)面裝有腔室內(nèi)硬件接口；前 門上配直徑 80 玻璃觀察窗（含手動(dòng)防污染擋板、可拆洗防污玻璃）；腔體可選擇水冷。 

◆抽氣系統(tǒng)： 采用復(fù)合分子泵 + 直聯(lián)旋片泵作為真空抽氣系統(tǒng)； 主抽泵：分子泵抽速≥ 600L/S，氮?dú)鈮嚎s比≥ 109 ； 前級(jí)泵：VRD-24 機(jī)械泵及電磁閥，抽速：6L/S 主抽閥： CCQ-150 超高真空氣動(dòng)插板閥 

* 真空系統(tǒng)可以升級(jí)為進(jìn)口分子泵和渦旋干泵。 

◆真空測(cè)量：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)： “兩低一高”全量程數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)； 

* 真空測(cè)量可以升級(jí)為進(jìn)口全量程冷陰極真空計(jì) 

◆極限真空：<5×10-5Pa ◆恢復(fù)真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) ◆熱蒸發(fā) / 有機(jī)物蒸發(fā)源： 最多 4 組金屬蒸發(fā)源，水冷電極和盒式防污染蒸發(fā)源；（可選配置） 最多 4 個(gè)有機(jī)束源爐，采用氧化鋁或石英坩堝（2CC）（可選配置） 

◆蒸發(fā)電源：采用恒壓、恒流真空鍍膜電源，最大輸出功率 2.4Kw； 電流調(diào)節(jié)精度 0.01A，電壓調(diào)節(jié)精度 0.01V，數(shù)量：2 臺(tái) 

◆樣品臺(tái)：可容納樣品最大尺寸：4 英寸樣品托一個(gè) , 配擋板，轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫， 溫度范圍：室溫 -600℃，控溫精度 ±0.5℃； 

◆系統(tǒng)控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動(dòng)按鈕）

選擇配置：

◆樣品臺(tái)可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控溫 

◆速率 / 膜厚監(jiān)測(cè)儀（SQM-160） 薄膜鍍層控制儀（SQC-310） 

◆可選進(jìn)口蒸發(fā)電源 ◆全量程真空計(jì) (Inficon) 

◆樣品托 : 不銹鋼、鋁或銅，基片盤上有螺紋孔。

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置：

◆工藝氣體 :25psi，純度 99.99% 以上 

◆工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮?dú)?/span> 

◆電 源 : 單相 220V, 50Hz,32A 

◆冷 凍 水 :18-25℃ , 3L/min，壓力 <0.4MPa