本系統(tǒng)是公司聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)引進(jìn)美國 Instrue 四極質(zhì)譜分析技術(shù)，基于四極質(zhì)譜原理的 RGA 可以快速測(cè)量并分析真空室內(nèi)各種氣體的組份與分壓強(qiáng)，采用先進(jìn)的四極桿質(zhì)譜技術(shù)為您的應(yīng)用提供了無以比擬的氣體檢測(cè)、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒級(jí)時(shí)間內(nèi)全動(dòng)態(tài)范圍對(duì)氣體進(jìn)行采樣。由真空機(jī)組、氣體樣品取樣閥、殘余氣體分析儀、應(yīng)用控制軟件等組成。

適用于真空排氣檢測(cè)、真空鍍膜氣氛與殘余氣體監(jiān)控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空內(nèi)表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生，以及去氣劑狀態(tài)測(cè)量等。

產(chǎn)品已獲得發(fā)明專利 1 項(xiàng)、實(shí)用新型專利 2 項(xiàng)，申請(qǐng)發(fā)明專利 1 項(xiàng)、 實(shí)用新型專利 1 項(xiàng)；

主要技術(shù)創(chuàng)新特點(diǎn)

1、采用微型腔體四極質(zhì)譜氣體采樣探頭，整機(jī)插拔式安裝。探頭的組裝采用自對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，在最大限度內(nèi)減少真空系統(tǒng)引入塵埃，且便于清洗維護(hù)后的再次組裝；

2、自適應(yīng)高頻諧振 RF 電源，全固態(tài)電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，軟件自動(dòng)掃描調(diào)節(jié)頻率，實(shí)現(xiàn) RF 驅(qū)動(dòng)電路 Q 值最大，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)電控部件小型集成化，提高整機(jī)可靠性；

3、將物理思路與嵌入式軟件相結(jié)合，采用了氣體分子質(zhì)譜自動(dòng)校準(zhǔn)軟件，使得在開機(jī)測(cè)量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識(shí)別的絕對(duì)準(zhǔn)確性。

主要科研實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

1、能夠詳細(xì)地分析真空系統(tǒng)內(nèi)部的微量氣體成份種類，各組份分壓強(qiáng)及系統(tǒng)總壓強(qiáng)，同時(shí)記錄各組氣體分壓強(qiáng)隨時(shí)間的變化；

2、可以任意設(shè)定包括氦在內(nèi)的樣品氣體用作真空系統(tǒng)檢漏；

3、在使用時(shí)對(duì)四極質(zhì)譜分析過程的多種參數(shù)進(jìn)行自由設(shè)定，可以根據(jù)各種電參數(shù)的改變，看對(duì)氣氛質(zhì)譜分析的影響，從而易于在基本原理的層次上對(duì)四極桿質(zhì)譜教學(xué)分析過程有深入的理解。

主要技術(shù)參數(shù)

1、極限真空：6.7×10 -5 Pa；

2、抽氣系統(tǒng)：2XZ-4 機(jī)械泵 +FF100/110 分子泵；風(fēng)冷或水冷；

3、測(cè)量范圍：1 ～ 100AMU（質(zhì)量與電荷的比例）；

4、探測(cè)器種類：法拉第杯；

5、工作壓強(qiáng)：UHV（極限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；

6、分辨率：峰高 10% 處小于 1.0 AMU ( 依據(jù) 1993 AVS 推薦方法 )

7、測(cè)量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （軟件設(shè)定）；

8、最大工作溫度（探頭）：200℃；

9、應(yīng)用軟件：AccuRay 2.0 for Windows；

10、通訊接口：USB 2.0 ( 非隔離，115200 波特率 )；

11、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。