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DH-USP 系列 超聲霧化熱解噴涂裝置

超聲霧化熱解噴涂(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)是一種重要的薄膜材料制備方法。這種方法的基本過(guò)程是:利用超聲波空化作用把特定成分和濃度的前驅(qū)體溶液霧化為粒徑微米量級(jí)的小液滴 ( 通常超聲波工作頻率在 MHz 量級(jí) ),在一定流速載氣輸運(yùn)下前驅(qū)體氣溶膠到達(dá)加熱的襯底表面附近,膠體粒子發(fā)生熱分解后固態(tài)生成物沉積到襯底材料表面形成薄膜。

主要用途和適用范圍

用 于 高 校、 科 研 院 所 用 于 制備 單 元 和 多 元 氧 化 物、 硫 化 物、氯化物薄膜材料,典型的薄膜材料如 ZnO、TiO 2 、NiO、AL 2 O 3 、CdS、SnO 2 、ITO 等等。

主要技術(shù)參數(shù)

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